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愛德華半導(dǎo)體真空泵維修

簡要描述:

愛德華半導(dǎo)體真空泵維修EPX180L:高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用

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更新時間:2024-12-18

產(chǎn)品產(chǎn)地:英國

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愛德華半導(dǎo)體真空泵維修
品牌Edwards/英國愛德華輸送介質(zhì)其他
泵軸位置邊立式葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,能源,電氣

愛德華半導(dǎo)體真空泵維修EPX180L

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
IPX 系列,可提供的性能,與 EPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

應(yīng)用:

EPX 系列涵蓋的應(yīng)用,從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可化功率效率。的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。

超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

非??煽縀PX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù),具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,程度地延長了泵的使用壽命。

可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進行診斷監(jiān)視和控制。 
 

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